针对太阳能工艺，对于废气处理最关键的就是安全问题，而这又涉及到处理效率（DRE）不足、粉尘量大等诸多问题。而协微NSPW系列等离子体水洗系列尾气处理设备都可完美应对。

协微尾气处理器优势：

1、优异的气体分解温度与处理效率。众所周知，弧光放电是指一种呈现弧状白光并产生高温的气体放电现象。无论在稀薄气体、金属蒸气或大气中，当电源功率较大，能提供足够大的电流（几安到几十安），使气体击穿，发出强烈辉光，产生高温（几千到上万度），这种气体持续放电的形式就是弧光放电。尾气处理设备则利用这一原理，配合腔体独特耐温隔热材料，从而使得腔体温度平均可达到3000℃以上，配合水箱水洗处理水溶性废气或副产物，几乎对所有工艺气体均可进行处理，处理效率可达99%以上；

2、大容量处理。太阳能市场硅烷耗量大，CVD工艺淀积率相对较低，导致大量硅烷会通入尾气处理器，需要大容量的尾气处理器来处理。而协微NSPW系列3000LPM的排气量可完全满足处理需求；水箱容量大，可应对太阳能CVD工艺大流量SiH4、BCl3、PH3等特气。

3、应用性强，可应对工艺升级改造需求。面对复杂变化的电池生产工艺，协微等离子体水洗式尾气处理设备可处理全系列工艺废气，对于新工艺引入的磷掺杂、硼掺杂，独特的干湿分离设计又可有效避免磷硼副产物带来的粉尘堵塞问题，而对于难以分解的PFCs气体，具有出色的处理效率。例如目前HJT市场，工艺复杂，要求高，引入了PFC气体进行腔体清洁，需要耐腐蚀，抗粉尘，大气体流量的尾气处理器。目前协微的NSPW1.5K-S尾气处理设备已经成功在迈为、理想、捷佳纬创、均石、金辰等HJT主机台装机应用，并保持紧密技术交流及合作

4、电是最清洁没有污染且稳定的能源。2020年9月22日，中国政府在第七十五届联合国大会上提出：“中国将提高国家自主贡献力度，采取更加有力的政策和措施，二氧化碳排放力争于2030年前达到峰值，努力争取2060年前实现碳中和。”协微NSPW1.5K-S未引入任何碳源，可有效控制副产物。同时还配置有节能模式（Idle以及高低火模式调节），有效控制电力消耗。