SEMICON CHINA 精彩回顾| 共创绿色未来，协微环境助力半导体行业低碳可持续生产
SEMICON CHINA 精彩回顾| 共创绿色未来，协微环境助力半导体行业低碳可持续生产
发布日期：2023-07-05 09:00
为期三天的 SEMICON CHINA 2023 圆满落幕，协微环境携先进工艺废气处理相关产品，向行业内各专业人士展示绿色低碳工艺废气处理解决方案。
来自业内的专家及人士纷纷驻足展台，深入交流，全方位了解产业布局和先端产品，致力推动绿色可持续发展，让半导体制造更安全、更高效，为客户安全生产保驾护航。
6月30日，在功率及化合物半导体产业国际论坛上，协微环境 CTO Kirel Tang 针对《第三代化合物半导体工艺废气的安全环保解决方案》做了精彩分享。
工艺废气处理设备在半导体制造设备中非常重要，化合物半导体的制程工艺对废气的排放和环境的保护提出了更多的挑战。比如在 LED 生产中，MOCVD 制程产生的氢气和氨气；SiC 衬底生长过程中也有大量的氢气和氯化氢气体产生，这些都危害生产的安全和人员的安全，需要解决。协微环境废气处理解决方案，可为客户提供安全的生产环境。
深耕尾气处理解决方案与行业应用，协微环境将持续创新突破，不断加大对尾气处理应用的研发力度，持续开发符合泛半导体行业绿色生产需求的产品，推动包括半导体行业在内众多领域的可持续发展。
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