尾气处理器
SCRUBBER
? ? ?尾气处理器(Local Scrubber)广泛应用于泛半导体行业 (半导体、面板、太阳能、LED）的生产工艺，包括CVD、 Diffusion、Etching和Ion implantation，可安全有效处理氟化物、氯化物、氢化物气体和一般有害气体。
? ? ? 随着环境污染防控的加强，对尾气处理器的技术要求也越来越高。协微始终保持技术领先地位，率先开始第五代尾气处理器布局，以最好的科技和品质服务本国市场。目前协微环境已有四个系列产品投入本地化生产，凭借可靠的产品质量和良好的售后服务，协微赢得了客户的一致认可。
