解决方案
PRODUCTS
NSPW系列Local Scrubber
NSPW系列
Local Scrubber
通过弧光放电产生等离子火焰（超过3000℃ ），从而处理易燃易爆，有毒的以及PFC气体（温室气体）
主要特性:
- 低功率，高性能
- 出色的PFC气体处理效率
- 通过配置静电除尘系统，达到超过99%的副产物颗粒处理效率
- 等离子火炬使用寿命长
- 出色的防腐蚀设计
- 自动模式，使用简便
- 主要应用行业：Semi、FPD、Solar、LED
- 主要应用工艺：Etch/CVD等
系列：NSPW600, NSPW1.5K, NSPW3K
| 气体类型 | 举 例 | 气 体 | 举 例 |
| Si基气体 | SiH4, SiH2CI2, TEOS, etc | 有毒气体 | PH3, BCI3, etc |
| 易燃气体 | H2, CH4, etc | PFC气体 | NF3, CF4, SF6, C4F8, C2F6, etc |
| 水溶性气体 | CI2, F2, HCI, NH3, etc | etc |
