解决方案
PRODUCTS

NSHW系列
Local Scrubber

该设备用于半导体/太阳能/平板显示/LED等行业的各种工艺

主要特性:
  • 运行稳定,故障率低
  • 采用套筒式加热棒,非常高的加热效率
  • 便于维护,加热棒便于更换
  • 采用湿法静电除尘配置则可获得超过99%的副产物处理效率
  • 特殊设计,避免断电问题
  • 极低的运行成本
  • 广泛应用于Semi、FPD、Solar、LED行业的各个工艺

系列:NSHW600, NSHW1.5K, NSHB3K, NSHD400, NSHF400

气体类型举 例气 体举 例
Si基气体SiH4, SiH2CI2, TEOS, etc有毒气体PH3, BCI3, etc
易燃气体H2, CH4, etcPFC气体NF3, etc
水溶性气体CI2, F2, HCI, NH3, etcetc