解决方案
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NSHW系列Local Scrubber+ 查看更多
NSHW系列
Local Scrubber
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该设备用于半导体/太阳能/平板显示/LED等行业的各种工艺
主要特性:
- 运行稳定,故障率低
- 采用套筒式加热棒,非常高的加热效率
- 便于维护,加热棒便于更换
- 采用湿法静电除尘配置则可获得超过99%的副产物处理效率
- 特殊设计,避免断电问题
- 极低的运行成本
- 广泛应用于Semi、FPD、Solar、LED行业的各个工艺
系列:NSHW600, NSHW1.5K, NSHB3K, NSHD400, NSHF400
气体类型 | 举 例 | 气 体 | 举 例 |
Si基气体 | SiH4, SiH2CI2, TEOS, etc | 有毒气体 | PH3, BCI3, etc |
易燃气体 | H2, CH4, etc | PFC气体 | NF3, etc |
水溶性气体 | CI2, F2, HCI, NH3, etc | etc |