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NSPW1.5K-S WIDE
通过直流等离子体超高温使气体氧化燃烧或热分解
配套水洗喷淋，综合处理有害废气

  • 出色的PFC气体处理效率
  • 超长电极使用寿命
  • 出色的整体防腐设计 
  • 操作简便，PLC/Touch Panel自动控制
  • 三种运行模式，节能设计，能耗超低
  • 应用行业广泛：Semi、FPD、Solar、LED
  • 主要应用工艺：Etch/CVD等
  • 设备尺寸：1,440(W) x1,300(D)x 2,000(H)mm 
  • 处理容量：≥3000LPM