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通过直流等离子体超高温使气体氧化燃烧或热分解
配套水洗喷淋,综合处理有害废气
出色的PFC气体处理效率
超长电极使用寿命
出色的整体防腐设计
操作简便,PLC/Touch Panel自动控制
三种运行模式,节能设计,能耗超低
应用行业广泛:Semi、FPD、Solar、LED
主要应用工艺:Etch/CVD等
设备尺寸:
1500(W)x1400(D)x1950(H)mm
处理容量:
3000LPM
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