解决方案
PRODUCTS
NSPW1.5K-S WIDE

通过直流等离子体超高温使气体氧化燃烧或热分解

配套水洗喷淋,综合处理有害废气


  • 出色的PFC气体处理效率
  • 超长电极使用寿命
  • 出色的整体防腐设计 
  • 操作简便,PLC/Touch Panel自动控制
  • 三种运行模式,节能设计,能耗超低
  • 应用行业广泛:Semi、FPD、Solar、LED
  • 主要应用工艺:Etch/CVD等
  • 设备尺寸:1500(W)x1400(D)x1950(H)mm  
  • 处理容量:3000LPM