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NSGB系列
Local Scrubber

利用等离子点火及夹克式电加热双级燃烧处理超大流量可燃工艺气体
主要特性:
  • 电加热水洗式尾气处理器适用于Semi/PV/FPD/LED等不同环境
  • 稳定的操作系统
  • 高温筒形加热腔
  • 易保养及维护作业
  • E.P系统能过滤超过99%的生成物
  • 特殊的电力系统设计
  • 极低的运行成本

气 体
举 例
硅化合物
SiH4, SiH2Cl2, TEOS…
燃烧气体
H2, NH3, CH4…
水溶性气体
Cl2, F2, HCl, NH3…
有毒气体
PH3, BCl3…
全氟化
NF3…