解决方案
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NSOD100S

通过与吸附药剂的化学反应完全非可逆地处理废气


  • 处理特气效率完美 
  • 运营成本低,无废水
  • 易维护&更换吸附桶方便
  • 操作稳定,可PLC/Touch Panel自动控制
  • 配置应急或备份吸附桶, 无缝切换
  • 主要应用行业:Semi、FPD、Solar、LED
  • 主要应用工艺:IMP/Etch/MOCVD/厂务等
  • 设备尺寸:600(W)x 600(D)x 1835(H)mm 
  • 吸附剂容量:50L