通过与吸附药剂的化学反应完全非可逆地处理废气

• 处理特气效率完美 
• 运营成本低，无废水
• 易维护&更换吸附桶方便
• 操作稳定，可PLC/Touch Panel自动控制
• 配置应急或备份吸附桶, 无缝切换
• 主要应用行业：Semi、FPD、Solar、LED
• 主要应用工艺：IMP/Etch/MOCVD/厂务等
• 设备尺寸：600(W)x 600(D)x 1835(H)mm 
• 吸附剂容量：100L