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NSOD100D
通过与吸附药剂的化学反应完全非可逆地处理废气
处理特气效率完美
运营成本低,无废水
易维护&更换吸附桶方便
操作稳定,可PLC/Touch Panel自动控制
配置应急或备份吸附桶, 无缝切换
主要应用行业:Semi、FPD、Solar、LED
主要应用工艺:IMP/Etch/MOCVD/厂务等
设备尺寸:
1,330(W)x 690(D)x 1,695(H)mm
吸附剂容量:200L
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