通过直流等离子体超高温使气体氧化燃烧或热分解，配合水冷及粉尘收集等模块，综合处理有害废气

• 出色的PFC气体处理效率
• 全新无水设计，无腐蚀
• 超长电极使用寿命
• 模块化设计，维护超简便
• 操作简便，PLC/Touch Panel自动控制
• 三种运行模式，节能设计，能耗超低
• 应用行业广：Semi、FPD、Solar、LED
• 主要应用工艺：Etch/CVD等
• 设备尺寸：800(W)x800(D)x1906.5(H)mm 
• 处理容量：600LPM